Kundenspezifischer 5-Achsen-Manipulator für Waferinspektion
Positionierstabilität, Dynamik und Präzision sind entscheidend im Bereich der Inline-Wafer-Inspektion, um den Durchsatz zu maximieren. PM wurde beauftragt, eine Mehrachsen-Positionierlösung für gleichmäßiges Hochgeschwindigkeits-Scanning und zuverlässigen Betrieb zu liefern. Unsere Spezialisten arbeiteten eng mit dem Kunden zusammen, um dessen Projektanforderungen zu verstehen und die entscheidenden Projektziele zu erreichen.
Die Herausforderungen
Zu Beginn des Projekts zur Entwicklung eines kundenspezifischen Positionierungssystems für die Waferinspektion sind einige anspruchsvolle Anforderungen gestellt:
- Eine möglichst kurze Vorlaufzeit;
- Entwurf eines schnellen und präzisen Wafertisches mit einem Versteifungsrahmen, der Röntgenstrahlen passieren lässt;
- Erstellung eines modularen Aufbau, um die Aufrüstbarkeit zu verbessern;
- Reinraumklasse 6 kompatibel.
Die Anwendung
Für die Waferinspektion der nächsten Generation hat unser Kunde eine berührungslose, zerstörungsfreie Messung für Inline-Frontend-Prozesse entwickelt. Die Vorteile reichen von Einzelanwendungen bis hin zu vollautomatischen Inline-Messungen, bei denen jeder einzelne Wafer in der Produktion gemessen werden kann.
Ergebnisse
- Der erste Prototyp wurde innerhalb des Zeitbudgets nach Projektbeginn geliefert. Dies lag daran, dass alle Kompetenzen des Unternehmens gebündelt wurden. Dies ermöglichte eine gute Zusammenarbeit der Konstruktions-, Fertigungs- und Montageprozesse;
- Der Versteifungsrahmen wurde auf Steifigkeit optimiert, um eine möglichst hohe Systembandbreite zu erhalten. Dies um sicherzustellen, dass die Einschwingzeiten und Genauigkeiten den Spezifikationen entsprechen;
- Der modulare Aufbau ermöglicht verschiedene Konfigurationen des Systems. Das System kann wahlweise mit 5 oder 7 Bewegungsachsen ausgestattet werden. Auf Wunsch kann auch ein Schwingungsisoliersystem integriert werden.
Spezifikationen
Hub X-Y: 1050 mm x 490 mm
Geschwindigkeit: 1,4 m/s
Beschleunigung; 5 m/s2 für X-Achse
Beschleunigung: 1 m/s2
Hub Z: 55 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/sec.
Drift: 50 nm in 20 Sekunden
Dual angetriebener Linearmotor / AC-Motor angetrieben
Reinraumklasse 6 kompatibel
Wiederholbarkeit kurzfristig < 5 µm
Wiederholbarkeit langfristig < 10 µm
Jitter 50 nm/20 Sek. obere X-Y-Achse
Jitter 1 µm/20 Sek. untere X-Y-Achse
Absolute Genauigkeit < 15 µm
Linearführungen XY- Flachprofil mit Kugelumlaufeinheiten
Leistungsfähigkeiten
PM bietet in seinem Haus einzigartige Fähigkeiten mit umfassendem F&E- und Engineering-Service, Anwendungsexpertise für Vakuum- und Ultrahochvakuumumgebungen, eigene Fertigung, Reinraummontage und verschiedene Mess- und Prüfgeräte. Detaillierte Informationen finden Sie auf unserer Kompetenzseite.
Kontakt zu unseren Spezialisten aufnehmen
Lassen Sie uns über Ihre Anwendung sprechen
Setzen Sie unser Engineering- und Anwendungs-Know-how für sich ein und kontaktieren Sie uns noch heute, um Ihre Anwendung zu besprechen.
Lassen Sie uns reden.
Functional Immer aktiv
Preferences
Statistics
Marketing
Ihr Download war erfolgreich
Preis und Lieferzeit für dieses Produkt anfragen
Laden Sie Ihr E-Book herunter
Download your e-book
Das E-Book ist für ingenieure geschrieben und enthält Tipps und Tricks für die Installation von Linearführungen
- Gestaltungstipps von Experten
- Wie man häufig gemachte Fehler vermeidet
- 7 Quickwins, mit denen Sie Geld sparen
- Überlegungen zur Schmierung
- Übersichtliche Illustrationen
- Sonderausgabe für den Ingenieur geschrieben
