Diese neu entwickelte XY2Z-Theta System für Wafer-Inspektion profitiert von allen Kompetenzen, die in den mehr als 50 Jahren des Bestehens von PM erworben wurden. Dazu gehört sicherlich auch ein umfangreiches Wissen über Führungen und System Entwicklung. Darüber hinaus wird bei der Realisierung dieses Produkts das gesamte Know-how aus Design, Motion Control, Fertigung und Montage von High-End-Positioniersystemen genutzt.
Ein Waferinspektionstisch ermöglicht präzise Bewegungen in den Achsen X, Y, Z und Theta und unterstützt Wafer mit Durchmessern von 200, 300 und 450 mm. Hochpräzise positioniert er den Wafer stabil unter dem Mikroskop für berührungslose Prüfungen. Je nach Anwendung mit optischer oder E-Beam-Inspektion.
Die abgebildete XY2Z-Theta Bewegungsplattform ist für Waferinspektions- und Messanwendungen der nächsten Generation konzipiert. Seine Modularität und Skalierbarkeit ermöglichen jedoch durch Anpassungen weitere Anwendungen. Bei PM verstehen wir die Herausforderungen der Branche. Wir können entweder unsere bestehenden Bewegungsplattformen modifizieren oder neu entwerfen, je nach Ihren Anforderungen.
Das Design der Bewegungsplattform wurde inspiriert von den Ergebnissen einer selbst entwickelten Topologieoptimierungssoftware. Dadurch ist das System in Bezug auf Masse und Steifigkeit gut ausbalanciert. Das integrierte Design hat gegenüber konventionell gestapelten Systemen inhärente Vorteile: Die dynamische Leistung wird erhöht und Abbe-Fehler werden reduziert.
Die erste lineare Portalachse ist auf einer Granitstruktur aufgebaut, um eine solide und genaue Basis zu schaffen. Die zweite Linearachse, die sich senkrecht zur ersten bewegt, ist in die Portalachse integriert. Damit wird sichergestellt, dass der Tisch der Philosophie folgt, dass alle Lager, Schwerpunkte und Motoren in einer Ebene ausgerichtet sind. Die Reduzierung des Armes der beweglichen Massen erhöht die beobachtbare Steifigkeit und damit die Systemleistung.
Die Spezifikationen des XY-Systems sind das Ergebnis einer klaren Designphilosophie sowie gründlicher Analysen der Bühnenstruktur und einer intelligenten Auswahl der Komponenten.
Beschleunigung 20 m/s2
Genauigkeit <1 μm
Jitter : auf Anfrage
Die Herausforderung für dynamisch bewegliche Systeme besteht darin, die Bühnenmitte an dem Ort zu halten, an dem sie trotz der hohen Wärmemenge, die in die beweglichen Teile eingebracht wird, zu erwarten ist. Die thermische Stabilität des Systems wird durch eine Reihe innovativer Lösungen gewährleistet. Wir verwenden spezielle legierte Materialien, um die Bewegung des Waferzentrum zu reduzieren, Kühlkörper, um den Motoren Wärme zu entziehen, und isolierende Materialien, um zu verhindern, dass Wärme auf kritische Komponenten übertragen wird.
Das kompakte 2Z-Theta-Modul kombiniert zwei Z-Achsen und eine Drehachse in einem kompakten Gehäuse. Eine Fein-Z-Achse mit einem Hub von 5 mm, die eine Fokussierung des Wafers ermöglicht. Und die Grob-Z-Achse, die mit einem Hub von 15 mm das Be- und Entladen von Wafern ermöglicht.
Beide Z-Achsen sind schwerkraftkompensiert. Die Führungen für diese Achsen sind PM-eigene RSDE-Typen, links dargestellt. Diese Führungen zeichnen sich vor allem durch Ihre Laufruhe, Präzision und Steifigkeit aus.
Die Theta-Achse beinhaltet eine speziell entwickelte Variante des Präzisionstischlagers FMB. Diese Rundlager sind bekannt für ihren geringen Rundlauf und ihre geringen Schwankungen. Gleichzeitig bieten sie eine hohe Steifigkeit und Leichtlaufeigenschaften.
Besondere Merkmale dieses Moduls sind drei separate Vakuumpunkte zur Aufnahme von Wafern für schnelles Spannen und Entspannen. Zusätzlich sind 6 Twisted-Pair-Verbindungen enthalten um Signale von der Aufnahme bis zum Host zu übertragen.
Grobe Z-Achse
Hub: 15 mm
Feine Z-Achse
Hub: 5 mm
Jitter: auf Anfrage
Theta-Achse
Hub: 360o (kontinuierlich)
Geschwindigkeit: 5 U/sec
Beschleunigung: 30 U/sec
Genauigkeit: <15 μrad
Jitter: auf Anfrage
