Piezomotortische gehören zur Familie der Lineartische mit Direktantrieb. Dazu gehören Linearmotoren, Wellenmotoren und Tische mit Schwingspulenmotoren. Der Antriebsmechanismus in jedem dieser Motoren ist frei von mechanischen Roll- oder Gleitelementen und bietet eine lange Lebensdauer und minimalen Verschleiß. PM entwickelt kundenspezifische Positioniertische mit verschiedenen Antriebsmechanismen für unterschiedliche Anwendungen und Märkte. Auf dieser Seite finden Sie allgemeine Informationen und Beispiele für Piezo-Positioniersysteme.
In der Welt der Präzisionsversteller für lineare Bewegungen gibt es viele Optionen für die Antriebe. Um nur ein paar zu nennen: Kugelumlaufspindel, Linearmotor oder Zahnstange und Ritzel. Sie alle haben ihre eigenen Eigenschaften in Bezug auf Geschwindigkeit, Beschleunigung, Positioniergenauigkeit, Positionierstabilität und Größe. Es gibt nicht den einen Antrieb, der für jede Anwendung geeignet ist, und es ist oft nicht so einfach zu entscheiden, welcher Motor oder Aktuator für eine bestimmte Anwendung am besten geeignet ist. Einige der allgemeinen Auswahlkriterien sind:
Geschwindigkeit
Genauigkeit
Platzbedarf
Hub
Umgebungsbedingungen
Lebensdauer
Die wichtigsten technischen Merkmale von Piezo-Motoren sind:
Minimaler Platzbedarf
Schnelle Reaktionszeit
Ultrahohe Positioniergenauigkeit
Hohe Positionsstabilität
Bewegung kleiner bis mittlerer Lasten
Wartungs- und schmierungsfrei
UHV-kompatibel und nicht-magnetisch verfügbar
Spielfrei
Auflösung im Submikrometerbereich
PM hat zahlreiche kundenspezifische Tische entwickelt, insbesondere Piezotische in vielen verschiedenen Konfigurationen. Auf dieser Seite finden Sie eine kleine Auswahl der verschiedenen Präzisionstische mit Piezoantrieb, die wir im Laufe der Jahre entwickelt haben.
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Im Gegensatz zu Lineartische mit Spindelantrieb lassen sich piezomotorische Tische leichter für größere Verfahrwege auslegen. Sie haben kein Getriebe oder eine Kupplung. Dadurch bleibt die Gesamtlänge kurz und sind weniger Komponenten benötigt. Piezotische werden gerne in Kombination mit linearen Kreuzrollen Linearführungen eingesetzt. Diese Art von Lager bietet die beste Bewegungspräzision aller mechanischen Lager. Der Verfahrweg von Kreuzrollenführungen wird durch die Länge der Schienen in Kombination mit den Käfigen begrenzt. Der typische Verfahrbereich von Piezotischen liegt zwischen 5 und 500 mm.
Piezomotor-Lineartische können in jeder Orientierung verwendet werden. Für die Z-Richtung ist keine Schwerkraftkompensation erforderlich, da sie selbsthemmend sind. Selbst wenn der Motor ausgeschaltet ist, behalten die Piezo-Lineartische ihre Position bei, die durch eine maximale Haltekraft begrenzt ist.
PM verfügt über umfangreiche Erfahrung in der Entwicklung und Produktion von hochpräzisen Positioniertischen für den Einsatz in Vakuumumgebungen, einschließlich Ultravakuum. Unsere Expertise erstreckt sich auf verschiedene Anwendungen wie Röntgen-, E-Beam- und Elektronenmikroskope, Beamline-Instrumente und EUV-Lithographie.
Wir legen großen Wert auf die Auswahl geeigneter Materialien wie Aluminium, Edelstahl und Keramik sowie auf hochwertige Komponenten wie keramische Linearführungen, Motoren, Sensoren, Kabel und Stecker. Darüber hinaus treffen wir spezielle Vorkehrungen bei der Herstellung der Tischteile, um Lufteinschlüsse zu vermeiden und die Pumpzeit zu reduzieren.
Unsere piezoelektrisch angetriebenen Positioniertische werden gemäß den Reinigungsstandards geliefert, die vom Kunden festgelegt werden.
PM hat diesen Positioniertisch speziell für den Einsatz in einer Ultrahochvakuumumgebung entwickelt. Die Achsen des Tisches sind mit kompakten Piezomotoren ausgestattet, die zwischen den Linearführungen positioniert sind. Die Linearführungen bestehen aus Kreuzrollen und ermöglichen eine gleichmäßige und präzise Bewegung. Die untere Achse des Tisches ist eine Z-Achse, die den XY-Tisch anhebt, um die Probe in den Fokus zu bringen. Die Hübe dieses Positioniertisches betragen 15 x 15 x 10 mm.
Dieser Positioniertisch eignet sich für Reinheitsprüfungen/Partikeltests, Dichtheitsprüfungen und die Prüfung kleiner Tische in Vakuumkammern.
Diese Kundenspezifische XYZ-Piezotisch ist eine technische Lösung die speziell für einen Kunden entwickelt wurde, der Nanometer-Anforderungen in drei Bewegungsrichtungen hat. Der XY-Tisch zeichnet sich durch sein kompaktes Design aus und besteht aus drei Hauptteilen. Das Zwischenteil kombiniert die obere Platte des X-Tisches mit der unteren Platte des X-Tisches, was im Vergleich zu gestapelten Designs zu einer höheren Genauigkeit führt. Die Piezomotoren sind in der Mitte der Achsen positioniert, um Antriebsmomente zu eliminieren. Die Hublängen des Tisches betragen 20 x 20 x 20 mm.
Positioniertische mit langen Verfahrwegen und Positioniergenauigkeit im Submikrometerbereich können auch die Piezomotortechnologie verwenden. Der Motor bleibt stationär und drückt gegen einen Keramikstreifen, der an der Seitenfläche des Tisches befestigt ist. In diesem Fall ist der Verfahrweg durch die Verfahrlänge der Linearführungen in Kombination mit den Rollenkäfigen begrenzt. Diese Art von Tischen kann mit langen Verfahrwegen geliefert werden. Die folgende Abbildung zeigt einen piezo-angetriebenen XY-Positioniertisch mit Hublängen von ca. 500 x 500 mm.
PM fertigt Gonioführungen an, die in Goniometertischen eingesetzt werden. Wir haben speziell für unsere Kunden Goniotische und Gonio-Kreuztische entwickelt. Der Piezoantrieb befindet sich in der Mitte zusammen mit einem linearen Encoder. Die Goniometertische ermöglichen einen Verfahrweg von ± 5 Grad.
Für Anwendungen, die eine vertikale Bewegung mit hoher Steifigkeit, großem Verfahrweg und hoher Positioniergenauigkeit erfordern, kommen keilförmig angeordnete Kreuzrollen Linearführungen zum Einsatz. Durch die horizontale Bewegung des Tisches wird diese durch die keilförmige Anordnung der Linearlager in eine vertikale Bewegung umgewandelt. Hier sind zwei Beispiele für Antriebsmechanismen, die bei vertikalen Hubtischen verwendet werden: einer mit einem Piezomotorantrieb und einer mit einem Kugelumlaufspindelantrieb. Wir haben Z-Tische entwickelt, die Hübe von 2 mm bis zu 25 mm ermöglichen.
PM ist ein Unternehmen mit Sitz in den Niederlanden, das sich auf die Entwicklung und Lieferung von Präzise Positioniersysteme spezialisiert hat. Dank unserer eigenen Entwicklungs- und Fertigungskapazitäten können wir maßgeschneiderte Systeme für Kunden in verschiedenen Branchen wie der Halbleiter-, Medizin- und Analyseindustrie weltweit anbieten. Mit über 50 Jahren Erfahrung sind wir führend in der Präzisionstechnologie. Bei uns erhalten Sie keine Standardtische aus einem Katalog, sondern wir entwickeln jeden Positioniersysteme individuell, um perfekt zu Ihren Anforderungen zu passen.
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